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產(chǎn)品價(jià)格￥65000.00元/臺(tái)
產(chǎn)品品牌愛發(fā)科
最小起訂≥1 臺(tái)
供貨總量1000 臺(tái)
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更新日期2023-12-29 10:52
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品牌： |
愛發(fā)科 |
所在地： |
北京 |
起訂： |
≥1 臺(tái) |
供貨總量： |
1000 臺(tái) |
有效期至： |
長期有效 |
| 產(chǎn)品特性 : | 熱銷 | 類型 : | 氣體捕集泵 |
| 品牌 : | 愛發(fā)科 | 型號(hào) : | LR421-T |
| 材質(zhì) : | 鑄鐵 | 用途 : | 管道泵 |
| 原理 : | 羅茨泵 | 真空度 : | 高真空度 |
| 驅(qū)動(dòng)方式 : | 電動(dòng) | 性能 : | 耐磨 |
| 極限壓力 : | 5 | 抽氣速率 : | 100 |
| 抽氣量 : | 440m3/h | 重量 : | 415 |
| 電壓 : | 180～240/380～440（50/60） | 排出口徑 : | VG50 |
| 流量 : | 440 | 規(guī)格 : | LR421-T |
多級(jí)羅茨型干泵
LR 系列
LR421
ULVAC
干泵LR系列，根據(jù)獨(dú)有的高溫均熱化技術(shù)，有效利用壓縮熱，實(shí)現(xiàn)了在CVD，蝕刻等硬工藝中的高耐久性。在輕工藝中，與ECO-SHOCK的組合 多可節(jié)省約80%的電力。 另外，提高了維護(hù)性和降低了噪音，全部型號(hào)CE對(duì)應(yīng)可能（可選）。關(guān)于ECO-SHOCK的詳細(xì)信息，請(qǐng)參考關(guān)聯(lián)信息。
特點(diǎn)
LR系列：低溫領(lǐng)域
不單是惰性氣體，還特別適用于裝載和卸載室中的排氣，縮短排氣時(shí)間以增加產(chǎn)量。
HR系列/UR系列：高溫領(lǐng)域
CVD，蝕刻等產(chǎn)生的可升華的廢氣物質(zhì)可以在氣體狀態(tài)下排出。
1000毫秒內(nèi)瞬時(shí)中斷。
符合CE標(biāo)志（可選）。
用途
活性氣體（CVD、干刻等）
惰性氣體（濺射,蒸發(fā)，熱處理等）
放入取出室排氣時(shí)間縮短（LR系列）
產(chǎn)生粉塵的工藝的排氣（Si單晶體上升等）
作為輔助排氣泵（渦輪分子泵、機(jī)械增壓泵的輔助排氣）
規(guī)格
| Model | LR/HR 60 |
LR/HR 90 |
LR 180 |
LR 421 |
LR 421-T |
UR 421-T |
LR/HR 300 |
LR/HR 600 |
UR 600 |
LR/HR 1200 |
UR 1200 |
||
| Pump | DRP | LR/HR 60 |
LR/HR 90 |
LR 180 |
LR 421 |
LR 421-T |
UR 421-T |
LR/HR 60 |
LR/HR 90 |
UR 90 |
LR/HR 90 |
UR 90 |
|
| MBP | － | PRC-003A | PRC-006A | PRC-012A | |||||||||
| Max. pumping speed | m3/h | 50Hz | 62 | 112 | 183 | 440 | 440 | 410 | 359 | 653 | 653 | 1012 | 1012 |
| 60Hz | 80 | 126 | 237 | 365 | 701 | 1051 | |||||||
| L/min | 50Hz | 1030 | 1860 | 3100 | 7333 | 7333 | 6833 | 5980 | 10900 | 10883 | 16900 | 16867 | |
| 60Hz | 1333 | 2100 | 3950 | 6080 | 11700 | 17500 | |||||||
| Ultimate pressure | Pa | 5.0 | 0.67 | ||||||||||
| Max. inlet pressure | Atmospheric pressure?* | ||||||||||||
| Max. exhaust pressure | 1.0 to Atmospheric pressure | ||||||||||||
| Inlet diameter (type CE) | VG50 (KF40) |
VG80(KF50) | VG100 | VG80(KF80) | VG100(KF100) | ||||||||
| Outlet diameter | KF40 | VG50 | KF40 | ||||||||||
| DRP: Rotor blade surface treatment | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ○ | ||
| MBP: Rotor blade surface treatment | - | - | - | - | - | - | ○ * | ○ * | ○ | ○ * | ○ | ||
| Weight | kg | 180 | 245 | 335 | 415 | 251 | 371 | 403 | |||||
| Power | Three phase | VAC (Hz) |
200（50/60), 220(60) | 180～240/380～440（50/60） | 200（50/60), 220(60) | ||||||||
| Current | At ultimate pressure | A | 6.9/7.1 | 11.2 | 18.9 | 20.8 | 23 | 7.0/7.8 | 12.3/12.9 | 16.4 | 13.7/15.4 | 18.9 | |
| At max. load | A | 7.0/7.3 | 11.8 | 20.6 | 48.5 | 52.5 | 9.6/8.1 | 19.0/13.8 | 17.3 | 24.2/18.9 | 22.4 | ||
| Cooling water Supply pressure | MPa | 0.1 to 0.3 | 0.2 to 0.5 | 0.1 to 0.3 | |||||||||
| Cooling water In/Out differrence pressure |
MPa | ＞0.1 | ＞0.2 | ＞0.1 | |||||||||
| Cooling water Flow rate |
L/min | ＞5.0 | ＞4.0 | ＞5.0 | ＞5.0 | ||||||||
| N2?gas | Supply pressure | MPa | 0.1 ～ 0.5 | ||||||||||
| Regu-lated pressure | MPa | 0.05 ～ 0.1 | |||||||||||
| N2 purge | Shaft purge | SLM | 5 | ||||||||||
| Gas ballast | SLM | 0～45 | None?*1 | 0～45 | 0～195 | 0～45 | |||||||
*Please specify voltage at the time of ordering.
*LR pump designed for low operating temperature of the pump body. The HR is for high temperature pump body operation. While the UR series is for Ultra High pump body temperature.
*The HR300, HR600, HR1200,UR600,UR1200,UR1800 and UR3601-TT models should all be operated below 200Pa (1.5 Torr).
*The LR3601-R/TR/TTR is an improved exhaust performance model in the high-pressure area.
*〇=with ×=with out
*MBP of LR300, LR600, LR1200, LR1800, can choose the existence of a surface treatment.
*Additionally, a pump with gasballast use is possible to quote. Please contact us for the selection and quotation.
■Silencer (Option)
| Model | Material | Surface treatment | Weight (kg) | Flange Connection |
| RS-01 | SUS304 | GBB treatment | 4.1 | NW40 |
| RS-02 | SUS304 | GBB treatment | 8.3 | NW40 |
| RS-03 | SUS304 | Polished plate | 12.5 | NW50 |
■Acceptable Table
| Kit type | Agreement | Clamp | Outer ring | Connection Flange | Stay |
| RS-01 kitA | LR60,LR90,LR300 | 1 | 1 | - | - |
| RS-01 kitB | LR600,LR1200 | 2 | 2 | 1 | 1 |
| RS-02 kitA | LR180（LR60,LR90,LR300） | 2 | 2 | 1 | 1 |
| RS-02 kitB | LR1800（LR600,LR1200） | 2 | 2 | 1 | 1 |
| RS-03 kitA | LR421(-T) | 1 | 1 | 1 | 1 |
| RS-03 kitB | LR3601(-T/TT/R/TR/TTR） | 3 | 3 | 1 | 1 |
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